Китай сталкивается с критическим технологическим пробелом в производстве специальных газов для приложений сверхкрупномасштабной интеграции (СБИС) и сверхкрупномасштабной интеграции (ULSI), при этом газы, чистота которых превышает 6N (99,9999%), полностью зависят от импорта.
Чтобы удовлетворить растущий спрос на специальные электронные газы в производстве полупроводников, электроники и фотоэлектрической промышленности, наша компания в последние годы установила стратегическое партнерство-университетов с Чжэцзянским университетом. Это сотрудничество направлено на разработку электронных газов класса 6N-, устранение внутренних технологических недостатков и решение этой критической проблемы.
В июне 2025 года наша компания создала команду по инновациям в области газа и оборудования Университета Чжэцзян, целью которой является предоставление поставщикам полупроводников передовых систем производства электронных газовых продуктов.
Благодаря совместным исследованиям и совместным технологическим прорывам мы успешно разработали системы производства и очистки широкого спектра специальных газов высокой-чистоты, включая: закись азота (N₂O), трихлорид бора (BCl₃), триметилсилан (3MS), пропилен (C₃H₆), октафторциклобутан (C₄F₈), гексафторэтан. (C₂F₆), бромистый водород (HBr) и т. д.
Кроме того, мы добились крупных прорывов в технологии воздухоразделительных установок (ВРУ), обеспечив высокую скорость восстановления аргона и работу с низким-энергопотреблением, что значительно повысило общую эффективность системы и экономические показатели.
Чтобы удовлетворить растущий спрос на специальные электронные газы в производстве полупроводников, электроники и фотоэлектрической промышленности, наша компания в последние годы установила стратегическое партнерство-университетов с Чжэцзянским университетом. Это сотрудничество направлено на разработку электронных газов класса 6N-, устранение внутренних технологических недостатков и решение этой критической проблемы.
В июне 2025 года наша компания создала команду по инновациям в области газа и оборудования Университета Чжэцзян, целью которой является предоставление поставщикам полупроводников передовых систем производства электронных газовых продуктов.
Благодаря совместным исследованиям и совместным технологическим прорывам мы успешно разработали системы производства и очистки широкого спектра специальных газов высокой-чистоты, включая: закись азота (N₂O), трихлорид бора (BCl₃), триметилсилан (3MS), пропилен (C₃H₆), октафторциклобутан (C₄F₈), гексафторэтан. (C₂F₆), бромистый водород (HBr) и т. д.
Кроме того, мы добились крупных прорывов в технологии воздухоразделительных установок (ВРУ), обеспечив высокую скорость восстановления аргона и работу с низким-энергопотреблением, что значительно повысило общую эффективность системы и экономические показатели.
